Thyracont VSM77D – przetwornik próżniowy Pirani/Magnetron, 1000–5×10⁻⁹ mbar, DN25 ISO-KF, RS485, 0–10 V

Opis

Thyracont VSM77D jest inteligentnym przetwornikiem próżniowym z serii Smartline, wykorzystującym kombinację dwóch technologii pomiarowych: Pirani oraz zimnej katody (cold cathode) w układzie inverted Magnetron. Połączenie obu sensorów umożliwia pomiar ciśnienia w wyjątkowo szerokim zakresie od 1000 do 5×10⁻⁹ mbar, dzięki czemu jeden przetwornik może monitorować proces od ciśnienia atmosferycznego aż do wysokiej i ultrawysokiej próżni.

Pirani + zimna katoda Magnetron – szeroki zakres pomiarowy

W zakresie wyższych ciśnień pomiar realizowany jest przez czujnik Pirani, natomiast przy niskim ciśnieniu wykorzystywany jest sensor jonizacyjny z zimną katodą typu inverted Magnetron. Inteligentne sterowanie automatycznie zarządza pracą obu technologii.

Istotną zaletą tego rozwiązania jest to, że zimna katoda jest włączana dopiero po osiągnięciu odpowiednio niskiego ciśnienia. Ogranicza to jej zużycie, wydłuża żywotność układu pomiarowego i zwiększa odporność na nagły napływ powietrza. Producent podkreśla również dobre właściwości zapłonu zimnej katody oraz niski poziom rozproszonego pola magnetycznego.

Przeznaczenie i zastosowanie

VSM77D jest przeznaczony do ciągłego pomiaru i monitorowania próżni w instalacjach wymagających kontroli bardzo szerokiego zakresu ciśnienia. Jeden przetwornik może śledzić cały proces odpompowywania – od warunków atmosferycznych, przez próżnię zgrubną i średnią, aż do wysokiej i ultrawysokiej próżni.

Dzięki temu VSM77D jest szczególnie przydatny w komorach wysokiej próżni, systemach pompowych, piecach próżniowych, urządzeniach do powlekania i nanoszenia cienkich warstw, instalacjach procesowych, technologiach półprzewodnikowych oraz stanowiskach laboratoryjnych i badawczo-rozwojowych.

Model VSM77D nie posiada lokalnego wyświetlacza LCD. Jest przeznaczony przede wszystkim do systemów, w których wartość ciśnienia przekazywana jest bezpośrednio do PLC, kontrolera próżni lub nadrzędnego systemu automatyki. Jeśli potrzebny jest dodatkowo odczyt ciśnienia bezpośrednio przy instalacji, odpowiednim wariantem jest VSM77DL z wyświetlaczem LCD. Oficjalne materiały producenta potwierdzają osobne wersje VSM77D i VSM77DL.

RS485, 0–10 V i sterowanie procesem

VSM77D w wykonaniu D wyposażony jest w RS485 oraz analogowe wyjście 0–10 V. Umożliwia to integrację z PLC, systemami automatyki, kontrolerami próżni i systemami akwizycji danych. Charakterystyka wyjścia analogowego może być skalowana, co ułatwia również zastępowanie starszych przetworników innych producentów bez dużych zmian w istniejącym układzie sterowania.

Do dyspozycji są także dwa niezależne, bezpotencjałowe wyjścia przekaźnikowe. Można je wykorzystać np. do sterowania pompami i zaworami, sygnalizacji osiągnięcia odpowiedniego poziomu próżni albo automatycznego uruchomienia kolejnego etapu procesu. Punkty przełączania oraz współczynniki korekcji gazowej mogą być konfigurowane poprzez RS485.

Wysoka odporność i długa żywotność

Konstrukcja VSM została opracowana z myślą o pracy w wymagających systemach wysokiej próżni. Metalowo uszczelniona komora pomiarowa ze stali nierdzewnej jest odpowiednia do zastosowań UHV, a producent podaje szczelność helową <5×10⁻¹⁰ mbar·l/s. Czujnik jest również odporny na nadciśnienie do 10 bar abs., a w odpowiednim wykonaniu z certyfikacją CERT31P – do 16 bar abs.

Wymienna głowica pomiarowa upraszcza serwis urządzenia. W przypadku zużycia lub zanieczyszczenia sensora można wymienić sam zespół pomiarowy zamiast całego przetwornika, co ogranicza koszty obsługi i przestoje instalacji. Thyracont oferuje dedykowane wymienne głowice Pirani/Cold Cathode dla rodziny VSM.

DN25 ISO-KF – wariant VSM77

VSM77D posiada kołnierz DN25 ISO-KF. To właśnie przyłącze jest jedną z najważniejszych cech odróżniających poszczególne modele tej rodziny: VSM77 – DN25 ISO-KF, VSM78 – DN40 ISO-KF, a VSM79 – DN40 CF-F.

VSM77D ma wymiary 139 × 69 × 48 mm i masę około 555 g. Zasilany jest napięciem 20–30 V DC, a czas reakcji wynosi około 50 ms; załączenie zimnej katody może trwać do 2 s. Stopień ochrony wynosi IP40 lub IP54 z odpowiednim złączem XB15SL05.

Najważniejsze cechy VSM77D: kombinowany sensor Pirani + zimna katoda Magnetron, bardzo szeroki zakres 1000–5×10⁻⁹ mbar, brak wyświetlacza LCD, kołnierz DN25 ISO-KF, interfejsy RS485 + 0–10 V, dwa programowalne przekaźniki, automatyczne załączanie zimnej katody przy niskim ciśnieniu, wymienna głowica pomiarowa oraz możliwość integracji z automatyką przemysłową.