Thyracont VSH88D – przetwornik próżniowy Pirani/Bayard-Alpert, 1000–5×10⁻¹⁰ mbar, DN40 ISO-KF, RS485, 0–10 V

Opis

Thyracont VSH88D to inteligentny przetwornik próżniowy z serii Smartline, wykorzystujący kombinację dwóch technologii pomiarowych: Pirani oraz jonizacyjnego czujnika z gorącą katodą Bayarda-Alperta (Bayard-Alpert Hot Cathode). Połączenie obu metod zapewnia wyjątkowo szeroki zakres pomiarowy 1000–5×10⁻¹⁰ mbar, umożliwiając kontrolę procesu od ciśnienia atmosferycznego, przez próżnię zgrubną i wysoką, aż do ultrawysokiej próżni.

Pirani + Bayard-Alpert – pomiar aż do 5×10⁻¹⁰ mbar

Przy wyższych ciśnieniach pomiar realizowany jest przez czujnik Pirani, natomiast w zakresie wysokiej i ultrawysokiej próżni wykorzystywany jest precyzyjny sensor jonizacyjny Bayarda-Alperta z gorącą katodą. Inteligentna elektronika automatycznie steruje pracą obu sensorów i przejściem pomiędzy zakresami pomiarowymi.

Gorąca katoda uruchamiana jest dopiero po osiągnięciu odpowiednio niskiego ciśnienia. Takie rozwiązanie chroni element jonizacyjny i zwiększa jego trwałość. Czujnik Bayarda-Alperta wykorzystuje podwójne włókno z irydu pokrytego tlenkiem itru, odporne na nagłe zapowietrzanie. Producent podaje, że testy długoterminowe potwierdziły odporność nawet na 100 000 cykli gwałtownego zapowietrzenia.

VSH88D oferuje również funkcję degas, czyli odgazowania sensora poprzez omowe podgrzewanie anody. Pomaga to ograniczyć wpływ zaadsorbowanych gazów i zanieczyszczeń na pomiary wykonywane przy bardzo niskich ciśnieniach.

Przeznaczenie i zastosowanie

VSH88D jest przeznaczony do precyzyjnego pomiaru i monitorowania wysokiej oraz ultrawysokiej próżni, szczególnie w instalacjach, w których wymagany jest bardzo szeroki zakres pomiarowy i kontrola ciśnienia aż do poziomu 10⁻¹⁰ mbar.

Przetwornik sprawdzi się przede wszystkim w komorach wysokiej i ultrawysokiej próżni, systemach badawczych, urządzeniach do nanoszenia cienkich warstw i powlekania próżniowego, technologiach półprzewodnikowych, systemach analitycznych oraz zaawansowanych instalacjach laboratoryjnych i R&D. Thyracont wskazuje VSH88D m.in. jako rozwiązanie do kontroli ciśnienia w instalacjach nanoszenia cienkich warstw, gdzie konieczne jest monitorowanie zarówno próżni wstępnej, jak i wysokiej.

VSH88D warto wybrać, gdy wymagany jest pomiar znacznie niższych ciśnień niż w przypadku VSM z zimną katodą oraz wysoka dokładność i powtarzalność w zakresie wysokiej próżni. Model VSH88D jest wersją bez lokalnego wyświetlacza LCD – przeznaczoną głównie do systemów, w których odczyt odbywa się przez PLC, kontroler lub system nadrzędny. Jeśli potrzebny jest również bezpośredni odczyt przy instalacji, odpowiednim wariantem jest VSH88DL z LCD.

RS485, 0–10 V i dwa przekaźniki

VSH88D w wykonaniu D posiada cyfrowy interfejs RS485 oraz analogowe wyjście 0–10 V. Umożliwia to integrację z PLC, kontrolerami próżni, systemami akwizycji danych i automatyką maszyn. Połączenie elektryczne w tej wersji realizowane jest przez 15-pinowe złącze Sub-D.

Urządzenie posiada również dwa niezależne, bezpotencjałowe wyjścia przekaźnikowe, które można wykorzystać np. do sterowania pompą lub zaworem, sygnalizacji osiągnięcia wymaganego poziomu próżni albo uruchomienia kolejnego etapu procesu. Punkty przełączania, współczynniki korekcji gazowej oraz inne parametry mogą być programowane poprzez RS485.

Dokładność, trwałość i stabilność pomiaru

VSH88D zapewnia dokładność około 10% wartości odczytu w zakresie od 10 do 1×10⁻⁸ mbar oraz powtarzalność 5% w zakresie 1×10⁻²–1×10⁻⁸ mbar. Czas reakcji wynosi około 50 ms, natomiast przełączenie prądu emisji gorącej katody może trwać do 2 sekund.

Dla części Pirani i gorącej katody można stosować oddzielne współczynniki korekcji dla rodzaju gazu, co pozwala lepiej dopasować pomiar do konkretnego procesu. Producent podkreśla także wysoką dokładność, powtarzalność i trwałość kombinowanego sensora VSH.

Dużą zaletą eksploatacyjną jest wymienna, skalibrowana głowica pomiarowa. W przypadku zużycia sensora nie trzeba wymieniać całej elektroniki przetwornika. Dla VSH88 producent oferuje dedykowaną głowicę B_VSH88A, co może ograniczyć koszty serwisowe i czas przestoju instalacji.

DN40 ISO-KF – wariant VSH88

Model VSH88D posiada kołnierz DN40 ISO-KF. Rodzaj przyłącza jest jedną z głównych różnic pomiędzy wariantami tej rodziny: VSH87 – DN25 ISO-KF, VSH88 – DN40 ISO-KF, VSH89 – DN40 CF-F.

VSH88 ma kompaktową obudowę o wymiarach około 141 × 69 × 48 mm i masę około 475 g. Przetwornik jest zasilany napięciem 20–30 V DC, a kołnierz może być wygrzewany do 180°C przy wyłączonym zasilaniu, co jest istotną zaletą w systemach wysokiej i ultrawysokiej próżni.

Najważniejsze cechy VSH88D: kombinowany sensor Pirani + gorąca katoda Bayarda-Alperta, bardzo szeroki zakres 1000–5×10⁻¹⁰ mbar, brak wyświetlacza LCD, kołnierz DN40 ISO-KF, interfejsy RS485 + 0–10 V, dwa programowalne przekaźniki, funkcja degas, odporne podwójne włókno z irydu pokrytego tlenkiem itru oraz wymienna głowica pomiarowa.